回收氢中甲烷的形成
大家都知道回收氢中,甲烷的带入与硅反应,生成碳化硅,直接导致硅棒的碳含量超标但是这个甲烷形成,一般都归结于氢气与石墨反应所致,
就针对甲烷形成的条件,坛友们可否给出一个回答?
氢气与石墨反应所致 在还原系统中,没有其他地方有碳进入,因此一般认为是石墨参加反应带入所致。 本帖最后由 yizhuxuan 于 2011-11-21 10:56 编辑
大家都知道回收氢中,甲烷的带入与硅反应,生成碳化硅,直接导致硅棒的碳含量超标
但是这个甲烷形成,一般 ...
虔诚的信徒 发表于 2011-11-21 09:53
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LZ可知道有种氢化工艺叫做“热氢化”...热氢化中氢化炉内为碳棒、石墨件,这里是多晶硅碳含量超标的罪魁。 应该是C-C发热体所致 版主,我们现行工艺就是热氢化,还是比较熟悉
我的问题主要碳和氢气生成甲烷的反应条件是什么? 版主,我们现行工艺就是热氢化,还是比较熟悉
我的问题主要碳和氢气生成甲烷的反应条件是什么?
虔诚的信徒 发表于 2011-11-21 16:52
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1000℃隔绝空气,炭黑与氢气可以反应生成甲烷,这是一个可逆反应。这里你更应该考虑的是炭黑与四氯化硅反应生成碳化硅的反应。 本帖最后由 xingxing916 于 2011-11-22 08:32 编辑
这个甲烷在TCS合成中也可能产生的,同时还产生一种叫一氯甲烷,在系统的C含量高在氢化和还原时也产生甲烷,同时石墨煅烧不好也会产生的。 8楼的坛友解释我觉得更入情理,石墨煅烧的质量,是直接影响产品C含量的主要因素。
同时对谪仙版主的解释说声感谢,接下来主要分析下碳化硅的影响! 我们也遇到了C超标的问题
除了石墨底座 是否要考虑碳钢管造成的C污染
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