求多晶硅还原炉的设计步骤
想设计一个多晶硅的还原炉,但不知道如何下手,如何确定还原炉的高度,尺寸,进料量,还有,能量和物料衡算怎么做呢,化工工艺设计手册上好像没有关于还原炉的部分啊。求高人指点。(注:还原炉内硅棒对数已知)对数确定也没用的啊,还原炉的其他的参数你起码知道吧,要不你设计出来也没人用,你不是设计院,整个流程你可以控制,设备设计就是一个节点,人家需要怎么样的结构,需要设备所达到的生产能力,工艺所要求的 给你提个醒:
还原炉尺寸决定反应物料的体积,反应物料的体积可以根据pv=NRT计算,P、N、T问问学工艺的都知道
物料衡算,就看你们单周期要产多少多晶硅,根据转化率和反应式算算物料的各个组分含量
能量衡算,找反应热和焓值吧,查查数据,再计算 回复 2# 287794392
恩,其它参数知道一些,但是不知道依据什么步骤开始做,有点无从下手的感觉,不像传统的塔设备设计,也有案例参考啊 回复 3# ymlgx
谢谢啦,本来一点眉目也没有的,听你指点一下,至少可以知道该从哪方面下手了,都是关键的步骤啊,感激啊,再有问题还望多多指教! 这个是技术问题,最好与设计院商讨 可能效果更好! 回复 6# cammy166
恩,我找了很多地方也没有相关的资料,就是想练练手,算是了解一下还原炉的工艺,自己也是刚接触,感觉很困难。 回复 3# ymlgx
你好,我还想请教一下,反应器的体积需不需要减去初始发热器占的体积,还有,我大概用各组分进出口流量算了一下,都用的平均值,得到硅的沉积速度与按单炉产量算出来的沉积速度有很大的出入,请问这个怎么处理,麻烦了! 回复 8# 明日的记忆
1、反应器的体积不需要减加热器的体积。
2、用尾气出口流量根据反应式算硅的沉积速率,这也只是一个 即时速率;用反应后硅棒的重量或者粗细除以反应时间这是平均沉积速率,当然不一样,国内一般都是用后者来表征。 我的邮箱chemic@126.com 可以提供
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