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物理法多晶硅对金属硅原料的要求

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发表于 2009-3-11 11:13:43 | 显示全部楼层 |阅读模式
目前  好像对物理法多晶硅的话题多起来了!!
大家都是说工艺和后期提 纯的相关的事!!
我想了解一下  物理法多晶硅对金属硅原料的要求,一般用什么含量的,细度多少,酸洗综合成本及酸洗效果好
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发表于 2009-3-11 11:43:50 | 显示全部楼层
就是一般的工业硅,纯度为2个9,细度为10mm以下
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发表于 2009-3-11 16:21:06 | 显示全部楼层
纯度在95%-99%
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发表于 2009-3-16 16:28:07 | 显示全部楼层
听说国内有的物理法厂家使用的金属硅原料要求较高,从3N做起

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发表于 2009-4-1 13:00:12 | 显示全部楼层
国内某科研机构使用1101 制成6n
我有见过...
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发表于 2009-4-2 09:18:05 | 显示全部楼层
纯度越高越好,最好是1101的,最主要的还是B、P含量不能太高,对后续处理难度有很大影响。
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发表于 2009-4-2 11:58:37 | 显示全部楼层
金属硅粉对P、B要求较高,这两种元素后续工序除杂效果有限。对于金属元素可以适当放宽要求,酸洗、定向凝固等工艺都有较好的除杂效果。若是金属元素含量较高,则硅粉的粒度要选择细一些。上万ppm的金属元素酸洗之后也能控制在200ppm以内或着更低。
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发表于 2009-4-2 21:55:37 | 显示全部楼层
3个9差不多吧?
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发表于 2009-4-8 10:25:23 | 显示全部楼层
据我所知,目前国内外采用物理法生产多晶硅的厂家基本都有自己的金属硅厂,为了降低成本都对金属硅的要求越高越好,一般都采用2202以上,同时由于P&B在后续工序很难处理,对P&B都控制非常严格,最好这两个元素没有


酸洗效果都是非常好,目前有人采用酸洗将金属元素控制在100ppm以内,同时成本处在较低水平。
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发表于 2009-4-8 10:43:53 | 显示全部楼层
3个9的工业硅价格比较高,关键还是在工艺改进,目前物理法不是很成熟。但发展潜力不错!
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