反应过程中硅棒上长出黑黑的东西就像长的毛毛一样,请问下这是什么原因造成的

发表于 2010-12-30 16:25:06

是不定形硅，但产生的原因是放置时间太长，多晶硅升华再结晶所致！

发表于 2010-12-31 13:30:19

应该是材料方面出了问题

发表于 2010-12-31 13:52:06

空烧时温度控制高一点吹扫氢略开大一点应该会好一点以前那种情况曾有技术用氯化氢气体在空烧时把硅芯表面腐蚀一下呵呵现在应该没看见过了应该是太麻烦了

发表于 2010-12-31 16:10:33

此现象看到过，但是具体原因一致弄不清楚，检测分析是无定形硅。应该是配比或温度、压力、进料流量等控制条件波动造成的。因为同样的条件下其他炉子没有出现此类现象。

发表于 2011-1-1 22:23:14

见到好几次了，就那么一截，挺郁闷的。

发表于 2011-1-2 16:51:57

老子看的这个东西好多回了就是不晓得啥子原因！不晓得你是说的生长初期还是生长过程中，初期的时候刚进料硅芯表面一哈就有黑的毛毛，生长过程中就长的黑色的针刺状。貌似是管道里面的东西久了没用了有杂物，以及生长过程中温度压力流量等等原因的波动造成的。具体还有待研究

发表于 2011-1-11 09:37:58

氮化硅吧，黑乎乎的，膨松状。

发表于 2011-1-11 15:16:02

初期是由于电磁吸附的脏东西，应该是进口管道的无定形硅，投料时压力升高过快造成的，运行的炉子出现是还原炉壁没有处理好，炉壁上的无定形硅脱落造成

发表于 2011-1-11 15:16:13

初期是由于电磁吸附的脏东西，应该是进口管道的无定形硅，投料时压力升高过快造成的，运行的炉子出现是还原炉壁没有处理好，炉壁上的无定形硅脱落造成

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