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多晶硅还原炉温度

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发表于 2011-3-31 19:38:09 | 显示全部楼层 |阅读模式
多晶硅还原炉的进气温度大约是对少?底盘与内部介质接触的表面温度能达到多少?
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发表于 2011-4-1 10:58:27 | 显示全部楼层
估计没有人会提供给你,即便有,也不敢轻易相信。
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 楼主| 发表于 2011-4-1 16:10:04 | 显示全部楼层
不需要很精确,有个大约的数据就行,搞工艺的应该能知道,请各位达人指点一二
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发表于 2011-4-2 08:43:01 | 显示全部楼层
这个东西要自己解决哈
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发表于 2011-4-3 14:06:23 | 显示全部楼层
从挥发器进入还原炉里温度大约是在60℃左右。还原炉里的温度在1100以内
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发表于 2011-4-3 15:23:40 | 显示全部楼层
如果能准确测温根据配比不同炉温也是不同的,根据系统需求尾气组分确定温度,目前基本上都是参考现场目测的现场
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 楼主| 发表于 2011-4-3 19:00:15 | 显示全部楼层
听现场的操作人员说底盘法兰用手感摸,料想应该也就50多度吧,加上传热的影响,估计和6楼说的差不多
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 楼主| 发表于 2011-4-3 19:02:18 | 显示全部楼层
如果能准确测温根据配比不同炉温也是不同的,根据系统需求尾气组分确定温度,目前基本上都是参考现场目测的 ...
wang200425 发表于 2011-4-3 15:23

                                
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发表于 2011-4-3 15:23:00 | 显示全部楼层
我们的和楼上的差不多
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发表于 2011-4-5 11:14:21 | 显示全部楼层
不同生长时间,进气温度是不一样的
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