多晶硅还原炉视镜模糊的问题

发表于 2009-2-28 09:23:40

听说主要是氢气和三氯氢硅的比例问题

发表于 2009-2-28 15:11:30

有硅油了吧？

发表于 2009-3-13 16:34:37

还原反应炉窥视孔会模糊，产生类似白色物质，但不是硅油，请问高手们，该如何防止这一现象那？是水温低还是窥视孔氢气量小的缘故？

发表于 2009-3-24 15:12:04

其实应该是硅油，如果在运行过程中发现有油状的物质在视镜上，过段时间就变模糊了，

发表于 2009-3-26 14:28:34

其它的原因我不是很肯定，但配比时三氯氢硅含量高的时候会发生视镜发黑的现象。而且含量越高，黑的越快，这个时侯的配比是不合适的！

发表于 2009-3-26 17:29:38

视孔氢开大些，可以阻止硅油趁机在镜片上
氢气和三氯氢硅的配比要拉大一些
一般看到视孔镜片雾化了要及时对还原炉气量作出调整，不然还有可能导致炉内雾化

发表于 2009-3-27 20:03:26

视镜模糊了，1是视镜冷却水温度太低了；
2是视孔氢气量太小没有把混合气体吹走，
3是视孔氢气压力稍低，
4.是还原炉内整体温度也低了，
配比的影响就不清楚了。

发表于 2009-3-28 16:19:17

有硅油，或者是沉积的无定型硅粉。覆盖在视镜上，就模糊了。

发表于 2009-3-30 12:19:08

一楼的图片是德国炉子，双层镜片，中间水冷，这种结构容易过冷，内层镜片的靠炉内一侧，容易有硅油冷凝出来
出现沉积硅膜的多是单层镜片，只能水冷到镜筒，镜片温度高，发生了多晶硅的沉积或是发生低温反应，沉积了一层无定形硅粉。

发表于 2009-3-30 20:17:04

你可做下实验把氢气比例调小些你可观察到炉内肯定模糊不清!
氢气和三氯氢硅比例有问题,可将氢气比例提高些!

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