多晶硅模拟

发表于 2010-2-26 22:30:00

关于多晶硅方面的资料还算不少，但是，大家有没有做这方面模拟的,尤其是关于多晶硅的生长过程？

发表于 2010-2-27 00:41:11

用软件模拟吗？还是说用实验炉？

发表于 2010-2-27 08:00:51

用软件，好像在论坛里没有过这方面的资料。

发表于 2010-2-27 08:12:00

光是模拟效果不好，结合实际情况才能确定。所以现在一般都不模拟。

发表于 2010-2-27 08:34:22

可以模拟热场么，对还原炉热场是比较关键的

发表于 2010-2-27 09:42:53

热场现在做模拟的很多

发表于 2010-2-27 10:44:59

我认为要模拟，
也只是用那些流体力学软件模拟多晶硅还原时的压力场、温度场，
对于多晶硅气象沉积无法模拟，
但是通过模拟这些场可根据所在场的情况判断其对多晶硅还原的影响

发表于 2010-2-27 10:45:19

用手算还是靠谱点儿吧

发表于 2010-2-27 10:58:53

模拟不靠谱的，从硅芯料的制备到出硅，需要控制的参数太多了，做这个模拟软件的人力物力都够建个场子了

发表于 2010-3-1 10:32:42

看看人家燃烧、空气动力学的飞行器设计、那么复杂的化工装置等都可以模拟计算，气相沉积为什么不可以？
看你的方法和熟练度而已

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