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多晶硅生产过程中的磷化氢产生及祛除

发表于 2012-3-21 17:22:08 | 显示全部楼层 |阅读模式

多晶硅生产过程中的磷化氢产生及祛除

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发表于 2012-3-22 09:41:45 | 显示全部楼层

磷化氢基本上都是从塔顶尾气中走掉或伴随轻组分的分离而排出

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楼主| 发表于 2012-3-22 11:01:25 | 显示全部楼层

磷化氢产生的机理是什么？

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发表于 2012-3-22 11:15:16 | 显示全部楼层

主要是由P单质或者PCL3在氢环境下产生

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发表于 2012-3-22 13:08:19 | 显示全部楼层

还可以随着CDI-2系统HCL解析排出PH3！

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发表于 2017-5-13 16:31:15 | 显示全部楼层

排出后剩余量大概有多少？要怎么检测

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发表于 2017-5-13 21:59:47 | 显示全部楼层

大家快来讨论下啊

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发表于 2017-5-21 09:33:51 | 显示全部楼层

快来呀那么也不是全部排光吧，循环氢气里面肯定海油一部分的，这部分要怎么检测呀，大家快来讨论下。

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