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改良西门子法生产多晶硅工艺中除硼、磷的方法

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发表于 2011-1-12 08:50:18 | 显示全部楼层 |阅读模式
改良西门子法生产多晶硅工艺中除硼、磷的方法文献，供参考！
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发表于 2011-1-12 20:41:59 | 显示全部楼层
还不错，除磷硼一直是多晶硅生产中一个难点。
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发表于 2011-1-13 08:08:42 | 显示全部楼层
在西门子改良法中出硼；磷一般是采用高低点排放，但是国内还有采用填料塔除杂合碳
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发表于 2011-1-14 22:52:08 | 显示全部楼层
1024，，，，，，，，，，，，
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发表于 2011-3-24 22:11:50 | 显示全部楼层
啥叫高低点排放？
硼以什么形态存在？
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发表于 2011-3-25 15:46:12 | 显示全部楼层
下了，但是打不开呀，楼主，请查看一下，不行重新上传
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发表于 2011-3-25 16:41:03 | 显示全部楼层
学习！学习！谢谢分享！
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发表于 2011-3-26 07:39:00 | 显示全部楼层
还可以，值得借鉴
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发表于 2011-4-9 14:08:21 | 显示全部楼层
了解学习了，谢谢！
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发表于 2011-4-9 17:06:23 | 显示全部楼层
硼在多晶硅中是比较难除的，因为和二氯的沸点较近。
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