tzm10
发表于 2012-3-21 17:22:08
多晶硅生产过程中的磷化氢产生及祛除
多晶硅生产过程中的磷化氢产生及祛除
xingxing916
发表于 2012-3-22 09:41:45
磷化氢基本上都是从塔顶尾气中走掉或伴随轻组分的分离而排出
tzm10
发表于 2012-3-22 11:01:25
磷化氢产生的机理是什么？
9769782
发表于 2012-3-22 11:15:16
主要是由P单质或者PCL3在氢环境下产生
wei8jun
发表于 2012-3-22 13:08:19
还可以随着CDI-2系统HCL解析排出PH3！
277302698
发表于 2017-5-13 16:31:15
排出后剩余量大概有多少？要怎么检测
277302698
发表于 2017-5-13 21:59:47
大家快来讨论下啊
277302698
发表于 2017-5-21 09:33:51
快来呀那么也不是全部排光吧，循环氢气里面肯定海油一部分的，这部分要怎么检测呀，大家快来讨论下。
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