gugb929
发表于 2011-1-12 08:50:18
改良西门子法生产多晶硅工艺中除硼、磷的方法
改良西门子法生产多晶硅工艺中除硼、磷的方法文献，供参考！
chi2xue
发表于 2011-1-12 20:41:59
还不错，除磷硼一直是多晶硅生产中一个难点。
luoye888
发表于 2011-1-13 08:08:42
在西门子改良法中出硼；磷一般是采用高低点排放，但是国内还有采用填料塔除杂合碳
54970949
发表于 2011-1-14 22:52:08
1024，，，，，，，，，，，，
fighter_zeng
发表于 2011-3-24 22:11:50
啥叫高低点排放？
硼以什么形态存在？
rhk2009
发表于 2011-3-25 15:46:12
下了，但是打不开呀，楼主，请查看一下，不行重新上传
emwxd
发表于 2011-3-25 16:41:03
学习！学习！谢谢分享！
legend9205
发表于 2011-3-26 07:39:00
还可以，值得借鉴
dsm1001
发表于 2011-4-9 14:08:21
了解学习了，谢谢！
taller
发表于 2011-4-9 17:06:23
硼在多晶硅中是比较难除的，因为和二氯的沸点较近。