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四氯化硅氯氢化生成三氯氢硅问题

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发表于 2007-8-15 13:25:55 | 显示全部楼层 |阅读模式
现在考虑四氯化硅氯氢化生成三氯氢硅,问题包括是放热反应还是吸热反应,反应包括
SiCl4+H2===SiCl3+HCl+Q
Si+3HCl====SiHCl3+H2+Q
Si+2HCl===SiH2Cl2+Q(少量副反应)
其中的Q是多少?
固定床和流化床?
硅粉的输送?
反应热的移除和补充?
硅粉的计量?
空气的隔离等问题?
还有管道的堵塞问题?
请大家讨论下
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发表于 2008-6-11 15:02:33 | 显示全部楼层
反应热
Cl2+H2=2HCl+184kJ
Si + 3HCl  =   SiHCl3  +  H2  + 50kcal
Si  +  4HCl=   SiCl4  +  H2  +  54.6 kcal
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发表于 2008-6-11 21:30:40 | 显示全部楼层
SiCl4+H2===SiCl3+HCl+Q
Si+3HCl====SiHCl3+H2+Q
Si+2HCl===SiH2Cl2+Q(少量副反应)
你写的第一个反应我不是很明白,是不是能这样写呢----
      SiCl4+H2===SiHCl3+HCl+Q
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发表于 2008-6-11 23:14:59 | 显示全部楼层
SiCl4+H2===SiCl3+HCl+Q
这个我也不明白,~~这个循环效果不会很好,一般只是用做多晶硅的附属工艺。
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