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西门子法制备多晶硅的前景

发表于 2008-8-30 08:41:46 | 显示全部楼层 |阅读模式

大家来讨论下改良西门子法制备多晶硅的前景还有多长，是否有被硅烷法取代的可能！

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发表于 2008-8-30 08:59:30 | 显示全部楼层

现阶段改良西门子法制备多晶硅工艺很成熟，硅烷法的安全性是个重要的问题

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发表于 2008-8-30 09:42:35 | 显示全部楼层

能取代早就取代了，硅烷法的确是十分的危险，比三氯氢硅危险多了。

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发表于 2008-9-1 20:12:11 | 显示全部楼层

硅烷国内也紧缺

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