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有谁能介绍一下多晶硅过程中的设备?

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发表于 2008-8-7 14:42:36 | 显示全部楼层 |阅读模式
现在多晶硅的生产,各行业都是技术保密!
由于本人需要学习此方面的知识,请各位对多晶硅生产了解的介绍一下其动设备、静设备!
当然,在不涉及行业机密的情况下,也不要让大家为难!

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发表于 2008-8-7 16:57:42 | 显示全部楼层
楼主论坛中有这方面的帖子:
https://bbs.hcbbs.com/thread-148862-1-1.html
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 楼主| 发表于 2008-8-7 18:17:42 | 显示全部楼层
多晶硅的主要装置有:
1氢气制备:一般用水电解制氢,此部分国内好多常见,只是半导体极地需要,氢气的纯度更高,基本不用进口;
2HCL合成,卡朋罗兰有成套设备,估计国内也有生产,需配套干燥装置
3氢化氯化,部分流化床反应器进口(不锈钢设备)的多,
4精馏塔,基本进口(不锈钢设备)日本美国
5还原炉,全部进口
7氢气等尾气回收,塔器国产的多,但氢压机需进口
8中间储罐,国内即可生产
9后处理,关键设备进口
感谢2楼的提供链接,以上是摘录,但内容还不够详细!
有谁能够介绍的更清楚些!

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发表于 2008-8-10 21:25:09 | 显示全部楼层
还原炉,氢化炉,HCL合成炉,尾气吸收.不能说的太多
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发表于 2008-8-26 14:22:49 | 显示全部楼层
学习学习
1
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发表于 2008-8-26 21:50:16 | 显示全部楼层
说了这些设备有什么用呢?只能在讨论的时候多了些名词而已
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发表于 2008-8-27 08:43:28 | 显示全部楼层
国内目前多晶硅的生产要么是电子级要么是太阳能级的多晶硅,也就是个纯度的问题。不管是哪种方法,大体上上都是用改良西门子法来生产的。无非就是粗料(三氯氢硅)制备、提纯、还原、尾气回收、STC转化等几个单元组成,然后就是生产过程中的一些辅助原料,氢气、HCL、导热油等。关键设备就是这些生产过程中一些比较重要的设备,比如:氢气压缩机、HCL压缩机、三氯氢硅还原炉、四氯化硅转化炉等,其他的设备基本国内都可以采购。
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