关于四氯化硅转化成高纯三氯氢硅在生产多晶硅过程中的重要意义

关于四氯化硅转化成高纯三氯氢硅在生产多晶硅过程中的重要意义作者：庞德春  庞岩
四氯化硅转化三氯氢硅工艺，本身就比三氯化氢硅生产多晶硅的工艺还要复杂很多，而且其投入也较三氯氢硅法的工艺多。国外，由于对环保的控制相当严格，因此，世界上的几大多晶硅生产厂家，都早已在多年前就对其三氯氢硅工艺的后处理进行了完善。换句话说，三氯氢硅生产多晶硅的工艺中是必须要包含四氯化硅转化成多晶硅的全套技术工艺的。其实，这还只是三氯氢硅法生产多晶硅回收再利用的其中的一个工序，具体还有二氯二氢硅（具有巨毒，爆炸特性）、磷化物、硼化物等多种的回收工序。全套回收工艺是相当庞大且复杂的，根本就不是一个简单的四氯化硅转化成三氯氢硅再生成多晶硅就能够解决了的事。
利用三氯氢硅法生产多晶硅的过程中，实际上至少有几十种常见杂质是都要有针对性处理的，对于其中的微量杂质虽然可以做简单处理后，采用填埋的处理方式，但是对于象四氯化硅、二氯二氢硅等数量特大的废物是十分必要的，它不仅存在环保问题还是生产成本的问题，如果解决不了具体的回收，使其产生更高附加值的话，在国内利用三氯氢硅法生产多晶硅的企业势必要受到巨大的阻碍，在很长时间里都将影响企业的发展。
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说的不错，现在建设的几家多晶硅厂都已经考虑这个了，但循环利用效率怎么样，安全性如何现在还不好说。主要原因是我们没有这方面的经验，虽然新光和中硅都声称自己解决了这个问题，但实际上相差太远了。期待着好消息！

可以采用四氯化硅和三氯氢硅混合源进行氢还原反应，可以解决副产四氯化硅的出路问题！专利上有报道啊！

但是转化成本也高，四氯化硅象废物一样

四氯化硅能不能有效利用我多晶硅生产成本的一个重要问题，从成本和环保来看，四氯化硅转化成三氯氢硅的有效利用是闭环改良西门子法的一个重要突破！新光现在已经引进了美国的CDI回收处理系统，四氯化硅的利用大大提高，产量也提高很多！
楼上的怎么说，四氯化硅象废物一样呢？我现在也是搞多晶硅的，大家可以多多交流！

不进行还原、氢化机理性研究，步进行温场、流场的分布机理及模型研究，不进行控制方案的优化等等，多晶硅的道路将重复低水平东西。

SICL4是多晶硅的生产过程中的副产物,虽说通过氢化法可以使之生成SIHCL4,但在实际操作中不好控制,生成率太低.作为制取白炭黑的原料,现在由于SICL4的产量过大,市场上已经饱合.国内一些多晶硅企业也在搞氢化法,这个工艺还有许多方面要完善,希望能早日提高氢化反应的产出率.

目前处理副产品四氯化硅的技术国内已经具备的氢化技术

SIH2CL2 可以卖给一些厂家用于制作硅薄膜的。
量相对少。
最多的是SiCL4，量太大了，可以做气象白炭黑。基本都是送的。
期待SICL4的再利用工艺。。。

个人认为在三氯氢硅还原反应的过程中
做设计的人员们应该在如何抑制副产物的产生方面下功夫啊