太阳能多晶硅

发表于 2008-8-27 16:42:34

GB/T 1550 非本征半导体材料导电类型测试方法
GB/T 1552 硅、锗单晶电阻率测试直排四探针法
GB/T 1553 硅和锗体内少数载流子寿命测定光电导衰减法
GB/T 4059 硅多晶气氛区熔磷检验法
GB/T 4060 硅多晶真空区熔基硼检验法
GB/T 1558 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
GB/T 1558 测定硅晶体中代位碳含量红外吸收方法
GB/T ××××-200× 硅多晶中基体金属杂质化学分析电感耦合等离子体质谱法
GB/T 14264 半导体材料术语
ASTM F1389-00 光致荧光光谱测单晶硅中Ⅲ-Ⅴ族杂质
ASTM F1724-01 利用原子吸收光谱测量多晶硅表面金属杂质

发表于 2008-8-27 20:34:22

不知道楼主有没这样的提示呢？需要气相检测四氯化硅和三氯氢硅各自的组分含量的检测标准号和名字，谢谢。

发表于 2008-8-28 07:33:57

三氯化硅的纯度检验确实是一个比较有科技含量的技术，能否介绍一下，特别是纯度比较高的物料

发表于 2008-8-28 09:20:34

我们不研究西门子法制备多晶硅技术，也就无法了解三氯氢硅的纯度测定。

发表于 2008-9-1 20:44:43

我就想要PDF版本的

发表于 2008-12-19 16:08:40

在哪下载啊？

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