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多晶硅部分原料标准

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发表于 2009-1-20 21:18:09 | 显示全部楼层 |阅读模式
产品质量标准 材料名称:高纯氮质量标准:参考GB/T8980-96项目质量指标备注氮气纯度
≥99.999%

氧含量
≤3.0PPm
在线检测
氢含量
≤1.0PPm
制订GC检测
水分
≤5PPm
在线抽检
总碳
≤3PPm
GB/T8984.3-1997GC检测
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