二氯二氢硅对多晶硅还原的影响

发表于 2009-2-11 20:09:51

高纯TCS中如果含有1-2%的二氯二氢硅，与氢气混合配比后通入还原炉，会有什么不良的后果吗？希望各位大侠赐教！

发表于 2009-2-11 21:19:47

我个人看法5%以下都不会有负面影响的，混合气进入还原炉后在发生还原反应时，同时伴有三氯氢硅本身的热分解反应，生成二氯二氢硅，根据化学反应的平衡机理，提高生成物的浓度会抑制副反应的发生的，至于具体的理论数值，本人的确不知，望各位高手指教！

发表于 2009-2-11 21:44:35

同意楼上的说法,还原炉内的副反应本身就有DCS生成,个人认为1-2%不足以影响整个大趋势.

发表于 2009-2-12 11:50:59

DCS本来就可以用来还原的，效果比TCS还要好，温度要求也低，但是会不会生成其他东西就不知道了。

发表于 2009-2-12 12:42:29

dcs和tet总和占tcs总量5%以下，影响不大。

发表于 2009-2-12 14:21:23

纯三氯氢硅和氢气的话生成大约1-2%的DCS，目前看来没有什么影响。

账号		自动登录	找回密码
密码			立即注册