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多晶硅生产过程中的环境问题

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发表于 2008-8-30 09:06:36 | 显示全部楼层 |阅读模式
最近多晶硅生产过程中的环境污染问题暴露的比较多,主要的是HF和四氯化硅等产生的污染。不知道现在有没有比较好的处理方法?
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发表于 2008-8-30 09:18:56 | 显示全部楼层
我是乐山的,这里搞了不少多晶硅,心里担心哪!污染了怎么处理.
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发表于 2008-8-30 09:53:32 | 显示全部楼层
可以把HF和四氯化硅利用起来,四氯化硅做Na2SiF6、K2SIO6等产品。
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发表于 2008-8-30 11:01:53 | 显示全部楼层
四氯化硅可氢化或汽相白炭黑,广州那边一研究所在汽相白炭黑方面的研究有一定的成果了
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发表于 2008-8-30 12:59:39 | 显示全部楼层
废物的利用不简单,需考虑成本和效益啊
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发表于 2008-9-1 20:10:24 | 显示全部楼层
大量的SiCl4到最后可能还是迫切要求国内解决氢化工艺
还有HCL问题......
白炭黑用量应该不是很多 还是不能解决
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 楼主| 发表于 2009-2-12 10:50:30 | 显示全部楼层
恩,工艺还不完善,循环利用是最好的解决办法,各个多晶硅生产厂家都在想法解决这个问题,但愿能早日成功。
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