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HCL合成中的高纯盐酸标准

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发表于 2009-2-23 09:52:32 | 显示全部楼层 |阅读模式
HCL合成要用到高纯盐酸,在多晶硅生产工艺中,对高纯盐酸有没有什么特殊的要求呢?
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发表于 2009-2-23 10:26:45 | 显示全部楼层
合成SiHCl3用的是H2和Cl2反应生成的HCl,没有用到高纯盐酸,盐酸是多晶硅还原尾气分离后的副产品,有分离制酸工艺
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 楼主| 发表于 2009-2-23 10:36:07 | 显示全部楼层
首先要合成气象HCL,由HCL合成TCS,而合成HCL时要用到盐酸,我问的就是这里用到的高纯盐酸,而这里有没有什么特殊的指标要求?
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发表于 2009-2-23 15:00:11 | 显示全部楼层
直接用H2 和CL2制取气相HCL就行了吧!对于HCL主要达到设计纯度就可以了!而且HCL有很大一部分比重来至于回收!想问一下,为什么会用到高纯盐酸呢?
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 楼主| 发表于 2009-2-23 17:18:23 | 显示全部楼层
就是说对于后续的工序,如TCS合成,应该控制我们这里的那些元素呢? 都是金属杂质影响么?
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