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拉弧和打火

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发表于 2009-3-13 11:20:26 | 显示全部楼层 |阅读模式
有大侠指教下,晶硅生产过程中,所谓的拉弧和打火是什么意思,如何形成的?谢谢!
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发表于 2009-3-13 12:36:33 | 显示全部楼层
对啊,我们也有这个问题。我的经验是拉弧和打火现象和四氟套上有脏东西有关,装炉前后一定要保持底盘清洁!请高手发表见解!
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发表于 2009-3-13 17:39:02 | 显示全部楼层
拉弧是指电压击穿空气时候的放电现象,一般底盘和电极的清洁很重要,还有附近不能有引电的尖头
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发表于 2009-3-23 02:15:49 | 显示全部楼层
如果说的是单晶!我有拉弧后加热器的照片,可惜没有权限上传!打火太快了,没有办法照片!拉弧是因为加热器或其他石墨件没有清理干净造成的,打火是加热器电极脚没有装好或电极脚上没有清理干净造成的!
[ 本帖最后由 LHY8771 于 2009-3-23 14:49 编辑 ]
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发表于 2009-3-23 14:31:58 | 显示全部楼层
一般和底盘附近水汽过重、赃物积存以及硅棒过长有关。启炉时,高温的电极让其周围的空气氛发生电离。
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发表于 2009-3-23 17:43:07 | 显示全部楼层
一般大电流或高电压都容易拉弧
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发表于 2009-3-27 11:59:16 | 显示全部楼层
谁能说下在还原炉内出现拉弧现象的具体位置,以及常发生的位置,谢谢
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发表于 2009-3-27 16:39:58 | 显示全部楼层
拉狐就是铜电极棒上的四氟套不洁净而造成的高压电击穿而造成的,我们师傅告诉我的,我们师傅绝对是多晶行业中的牛人!拿年薪60W的人!
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