氮气启炉or氢气启炉？

一般用氮气吹扫试压后要用氢气置换后才能启炉

用氮气启炉的话那么高的温度下再通入氢气的话氮气会和氢气反应生成氨气，引入新的杂质。所以不能用氮气启炉。

用氢气启炉是一个很普遍的做法，而且能用氢气启炉尽量就不用氮气启炉子，但并不是说就没有氮气启炉的例子，我所知的就有一家。另刚启炉时炉内的温度并不高，所以楼上的师兄说生成氨气是基本不会发生的。

你说的启炉是什么意思？
如果指的是等离子启动的话
国内不止一个厂家在氮气气氛下，用等离子击穿硅芯

氮气和氢气在这种状态下貌似不能生成氨气哦