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多晶硅生产所需的气体

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发表于 2008-12-9 11:00:12 | 显示全部楼层 |阅读模式
请教一下:在多晶硅的生产中,需要气体哪些种类的气体?他们的量如何计算呢?
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发表于 2008-12-9 13:51:16 | 显示全部楼层
多晶硅生产中需要的气体有氮气,氢气,如果上原料的话再加氯气。
氮气一般需要4公斤就可以了,氢气用的很多,主要是用的回收的氢气,另外加备用的电解槽!
至于量是怎么计算的,这个不太清楚!
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发表于 2009-3-29 17:47:08 | 显示全部楼层
氢气是由电解制氢工序里的电解槽产生的,纯度可以达到99.8%以上。
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发表于 2009-3-30 10:36:27 | 显示全部楼层
气体有氢气、氮气、氯气甚至有的需要氩气,具体的量在设计院提供的物料平衡中可以找到
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