多晶硅还原炉地盘电极的大小尺寸如何计算

发表于 2009-4-16 12:33:54

请教一下各位前辈，多晶硅还原炉地盘电极的大小尺寸如何计算，依据是什么？
谢谢。
[ 本帖最后由 LHY8771 于 2009-4-17 08:30 编辑 ]

发表于 2009-4-17 08:31:52

主要依据电流大小，和电压大小决定，看需要把硅棒加热到多高的温度。

发表于 2009-4-17 12:27:15

哥哥，那它的计算公式呢？

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