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多晶硅棒

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发表于 2008-8-20 18:19:00 | 显示全部楼层 |阅读模式


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发表于 2008-8-21 20:59:01 | 显示全部楼层
下部分长的很光滑,上部分怎么不光滑,是什么原因啊???
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发表于 2008-8-23 15:08:59 | 显示全部楼层
气流从下面进,刚进入反应器,反应物浓度较高;而在顶部时反应物浓度就低一些了,气流呈湍流状态,从而产生的这种情况,
仅是个人分析,请高手指点
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发表于 2008-9-15 10:55:05 | 显示全部楼层
上边温度太高,长的太快,晶粒的排列速率赶不上沉积速率,就出现这种坑坑哇哇的。建议把炉子顶部往高增加一些。
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发表于 2008-9-23 22:11:36 | 显示全部楼层
上面不光滑主要是因为气速过快
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发表于 2009-2-23 17:07:36 | 显示全部楼层
整根硅棒表面都在发热,为什么就顶部的温度高?我觉得不是温度分布不均,而是气场分布不均引起的。气流在炉顶部出现湍动,影响了Si在硅棒表面的沉积。
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发表于 2009-3-5 21:24:50 | 显示全部楼层
几种因素可能都有,顶部温度高是因为横梁的影响。
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发表于 2009-3-6 02:26:12 | 显示全部楼层
温度过高,生长过快的原因
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发表于 2009-4-7 23:39:02 | 显示全部楼层
横梁附近的温度高
这是肯定的,大家也都认同了
如果说是气场不均
除了加高炉筒
把硅棒放短点是不是也可以呀 (不记产量的情况呀)
还有没有其他的方法
比如说改动进气孔
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发表于 2009-4-21 00:36:22 | 显示全部楼层
硅棒长的很难看
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