还原炉进气形式

发表于 2009-4-26 22:37:20

还原炉的进气形式都有哪些呢？它们各有什么优缺点？

发表于 2009-4-26 23:44:28

现在应该都是低进低出气体沉积时间长

发表于 2009-4-27 11:15:08

底部进料，底部出料。氢气密度极小，起载流作用，从下部快速进入钟罩内，经过硅芯加热后热气流上升，遇到炉壁后，被冷却水冷却，气体慢慢的沉降下来，形成均匀气场。目前应该都是采用的这种进出气方式吧

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