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关于多晶硅底盘设计的问题

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发表于 2009-4-24 11:12:46 | 显示全部楼层 |阅读模式
请问大家
多晶硅底盘设计有什么特别的技术要求么,电极孔间距如何确定啊
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发表于 2009-4-24 17:28:35 | 显示全部楼层
电极孔的间距要考虑硅棒长粗以后硅棒间的距离。其次本人正在研究,硅棒通电以后产生电流变成导体,就会产生磁场,磁场导体间产生作用力
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 楼主| 发表于 2009-5-16 22:43:44 | 显示全部楼层
2# 爱在深秋1 请问电流大小与倒棒有这怎样的关系啊,在停炉降电流是您认为有何特殊要求啊,谢谢
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