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多晶硅中磷硼

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发表于 2009-2-27 13:25:25 | 显示全部楼层 |阅读模式
多晶硅生产中,鳞和硼用什么方法除最好。
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发表于 2009-3-4 19:20:09 | 显示全部楼层
我只能告诉你,一般用造渣法除B
真空法除P
其他的都是技术秘密了,想知道,就算技术转让了
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发表于 2009-4-12 22:04:14 | 显示全部楼层
有几种方法除去,有物理和化学等几种方法
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发表于 2009-4-13 10:27:20 | 显示全部楼层
原帖由 hanshihhh 于 2009-3-4 19:20 发表
                                
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我只能告诉你,一般用造渣法除B
真空法除P
其他的都是技术秘密了,想知道,就算技术转让了
除硼的方法还有等离子和电子束法(氧化除硼,日本JFE路线),但是成本很高,效果不见得好,有人说这是日本人在诚心误导,忽悠大家!
[ 本帖最后由 半江风雨 于 2009-4-13 10:29 编辑 ]
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发表于 2009-6-9 13:16:05 | 显示全部楼层
除硼的方法还有等离子和电子束法(氧化除硼,日本JFE路线),但是成本很高,效果不见得好,有人说这是日本人在诚心误导,忽悠大家!
[ 本帖最后由 半江风雨 于 2009-4-13 10:29 编辑 ]
半江风雨 发表于 2009-4-13 10:27

                                
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我想,用日本的这套制造多晶硅技术来讲,原料有什么要求没有?
按照我国的标准,他们用的原料的具体牌号是 2202 还是 553 ,还是其他的呀?
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发表于 2009-4-13 10:27:00 | 显示全部楼层
5# lingeng 我把原文传上来,有兴趣的自己看看吧。
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