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P、B存在形式

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发表于 2009-6-8 11:26:10 | 显示全部楼层 |阅读模式
多晶硅生产中P、B等杂质的存在形式是什么及其物化性质?因为检测时只显示元素含量。了解了粗三氯氢硅中的组分组成应该会对精馏的操作有用!请大家发表意见。
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发表于 2009-6-8 14:19:58 | 显示全部楼层
一般就只是BCl3和PCl3,但是也不排除BCl2等一系列化合物的存在
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发表于 2009-6-9 08:48:52 | 显示全部楼层
三氯氢硅中的杂质一般都是以氯化物的形式存在,比较简单。
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 楼主| 发表于 2009-6-10 18:52:06 | 显示全部楼层
有没有络合物呢?
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发表于 2009-6-11 21:38:39 | 显示全部楼层
氯化物,络合物,聚合物可能都存在
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发表于 2009-6-15 10:04:12 | 显示全部楼层
主要是氯化物和氯化络合物吧,好多文献都有报道
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