请教水环真空泵在多晶硅工艺中的应用

发表于 2009-7-2 14:52:52

求教下：多晶硅生产都有哪些工艺环节中用到水环真空泵啊。

发表于 2009-7-2 15:45:19

还原炉抽真空吸附柱再生抽真空（开车前用一次）

发表于 2009-7-2 18:22:47

我们吸附柱不用抽真空

发表于 2009-7-3 00:21:43

四氯化硅氢化，硅粉抽进干燥仓

发表于 2009-7-3 10:48:36

太抽象了，有点晕

发表于 2009-7-3 11:11:40

我们岗位上的水环真空泵用来给硅粉干燥器抽负压，抽硅粉用！

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