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还原进气问题..

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发表于 2009-7-1 12:03:37 | 显示全部楼层 |阅读模式
由于进气口管径过大.气体到达炉顶时间太慢.气体在炉内分布不均匀.准备改成若干个倾斜小喷嘴.使气体成螺旋快速均匀通过还原炉.请教各位LS.方法行的通吗、?
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发表于 2009-7-1 17:16:24 | 显示全部楼层
关于喷嘴的形状,我们也讨论过很多次,有一种意见是,还原炉里温度足够高,喷嘴的形状和喷射方向,以及喷嘴的分布对还原炉内气体分布没有多大影响,因为炉内气体分子热运动非常剧烈
我的意见是,有条件的话还是先做一下模拟看看结果如何..........只可惜Fluent我还不会...
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发表于 2009-7-2 20:51:44 | 显示全部楼层
喷嘴最好不要倾斜,那样万一气流过大,容易吹倒硅芯的
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发表于 2009-7-2 22:51:07 | 显示全部楼层
试试多个喷嘴德吧
我知道有的利用加大进料混合气体的流量(加大H的比例)来改善炉内的气场。但是也存在很大的问题,不是根本解决问题的办法。
以前在学过一点儿CFD,现在苦于想模拟而没有软件可用。
哪位坛友帮忙给个FLUENT安装程序。
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发表于 2009-7-3 11:14:57 | 显示全部楼层
试试多个喷嘴德吧
我知道有的利用加大进料混合气体的流量(加大H的比例)来改善炉内的气场。但是也存在很大的问题,不是根本解决问题的办法。
以前在学过一点儿CFD,现在苦于想模拟而没有软件可用。
哪位坛友帮忙 ...
jesscy 发表于 2009-7-2 22:51

                                
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我的Fluent是直接在迅雷下的,6.3的版本,可以用,我是苦于有软件有教程,就是没时间学..............
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