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多晶硅进料异常

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发表于 2009-7-7 08:53:50 | 显示全部楼层 |阅读模式
本帖最后由 181128425 于 2009-7-7 10:13 编辑
多晶硅反应在氢气置换完成后,通入TCG短时间后在硅芯的表面会有少许绒毛状的物体,请问次物体的成分及产生原因?与平时所说的爆米花不同。
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发表于 2009-7-7 15:24:31 | 显示全部楼层
原料 或者炉内的比较脏 就是所说的长毛了 一般设备刚运行 开车的时候会出现这种情况
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 楼主| 发表于 2009-7-7 16:42:38 | 显示全部楼层
事实上上次开车还没有问题啊,在有绒毛的地方硅棒长得像狼牙棒。
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发表于 2009-7-9 03:33:54 | 显示全部楼层
可能是由于温度偏低不均匀的原因,在硅芯局部长出了毛刺,温控方面做得不够
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 楼主| 发表于 2009-7-9 18:48:00 | 显示全部楼层
谢谢楼上俩位。
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发表于 2009-7-14 09:19:22 | 显示全部楼层
也可能是原料中有杂物。我们这里有一次开车意外停下来,开炉是发现d=25mm的硅棒上有好大一个面包球一样的东西,直径有100mm。
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