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大化工论坛»大化工论坛 › 专业技术分类 › 多晶硅新能源 › 三氯氢硅中一般含有的杂质以及杂质的沸点是多少？知道的 ...
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三氯氢硅中一般含有的杂质以及杂质的沸点是多少？知道的告诉下，谢谢

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发表于 2009-7-8 13:07:48 | 显示全部楼层 |阅读模式
希望知道的各位朋友给我一点小的意见，感想万分
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发表于 2009-7-8 13:27:53 | 显示全部楼层
常压下，BCl3  12.5           PCl3   76.1             SiCl4    57             SiH2Cl2   8.3
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 楼主| 发表于 2009-7-8 13:33:28 | 显示全部楼层
2# Minos
这只是目前大家公认的一些杂质，还有其他的杂质，偶想知道
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发表于 2009-7-16 16:15:37 | 显示全部楼层
还有一氯氢硅，呵呵
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