多晶硅生产中三氯氢硅的化学性质受何种影响？

多晶硅生产中还原尾气中在回收过程中，其中的三氯氢硅等氯硅烷肯定是与冷冻盐水的，但会与生产中用到的氟利昂，油（导热油，安装过程中加的密封油，等）反应吗？以上均是考虑在生产中冷却介质有泄漏的情况下，大家讨论一下。

三氯氢硅那些氯硅烷应该不会与纯的氟利昂或者矿物油（烃类）反应的..............