还原炉硅棒的温差

请教各位实际生产中内、中、外硅棒的温差有多少度？超过100吗？
进气的温度有多少度？
尾气出口的温度多少度？

棒与棒之间的温差应该不会有那么多吧，棒表面跟气相主题的温差也就一两百度而已，一般不会超过两百
但是即使是几十度的温差，就已经有很大影响了，西门子还原炉内多晶硅沉积的适宜温度区间也就那么窄而已

温度梯度还是有点大的！

温度梯度还是有点大的！
ranrui 发表于 2009-8-6 10:52

                                
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外圈棒表面到冷壁的温度梯度是很大
但是棒之间的温度梯度，并不应该很大

这个要看炉子本身的设计了

棒数多的炉子，每圈棒之间的温度梯度应该会比较小................

前期的温差比较大，但是后期也在30度的范围内啊

跟还原炉的进出口位置及硅棒布置有关系，要求温差尽量小。
   经过换热后进气温度大约有200度，出口尾气约600左右吧，跟工艺有关啦。