三氯氢硅还原中的C~

三氯氢硅还原时C是怎么生成的，反应式怎么写？会不会产生甲烷，回收氢气时怎么除去？

还原中C是不希望被引入的元素啊，影响质量
C一般都是石墨底座，卡瓣引入的
如果是碳棒加热启动的话，也要引入碳元素，还有干法的过滤器不好的话，要引入柱子中的C

还有就是氢气或三氯氢硅带入的碳。现在回收系统用的活性碳吸附，如果活性碳质量有问题或安装质量不好有可能粉化通过氢气进入系统（一般都是检测过滤器）