多晶硅生产过程中的硅芯圈问题

发表于 2009-8-22 15:33:40

你们怎么不装红外测温仪呢，我们电流都是电脑自动加的。

发表于 2009-8-23 21:27:51

你们怎么不装红外测温仪呢，我们电流都是电脑自动加的。
duojingsi 发表于 2009-8-23 21:27

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嗯？你们难道直接根据测温仪的结果自动控制？？？

发表于 2009-8-24 13:49:52

好像是氢气中含氧和含水量超标，也有这方面的原因吧

发表于 2009-8-23 21:27:00

大家发表的意见都很好，个人认为氧化层跟这个硅芯圈无关，如果采用真空拉制基本可排除此项可能性，还是Minos说的比较好，温度的影响是很大的因素。同样跟炉子本身的制造精密度有一定的关系，楼主用的是哪里的炉子，西安理工的？

发表于 2009-8-24 16:06:54

我们请的专家做多晶硅几十年了他能看出温度我们还用一个光学测温仪

发表于 2009-8-24 16:24:56

15# duojingsi 我的工人就是用测温仪

发表于 2009-8-24 19:31:13

15# duojingsi 我的工人就是用测温仪
16981565 发表于 2009-8-24 21:01

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那你们每次停炉后启炉前都要做校正？

发表于 2009-8-24 21:01:00

红外温度计，每次开炉都要校正的，要选择某一处温度最高的作为参考。

发表于 2009-8-24 23:43:40

硅芯圈有两种可能，一种温度夹层，一种氧化夹层，氧化夹层要比温度夹层更严重一些，楼主说的是温度夹层吧，它是由于温度变化不均引起的，一般温度差30度就会出现温度夹层，经常发生在接班时，电流增加的快慢不同造成

发表于 2009-8-24 21:01:00

你们怎么不装红外测温仪呢，我们电流都是电脑自动加的。
duojingsi 发表于 2009-8-23 21:27

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你们实现了电流与红外测温仪的闭环？这么相信红外测温仪？

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