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三氯氢硅合成炉升温

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发表于 2009-9-4 09:59:28 | 显示全部楼层 |阅读模式
合成炉采用夹套水冷却方式,通过电加热器对氮气加热(最高可加热到500摄氏度),然后用热氮气来对合成炉升温。
       小弟有很多疑惑:1 对合成炉升温的速度是不是应该控制,如果要控制,每小时升温多少度合适呢?又如何来控制这个升温速度呢?对一台设备来说,温度升到400度,要大于几个小时才合适?
                               2 升温前要向合成炉加入一定量的硅粉,是不是一开始升温的时候这个合成炉里面的硅粉就必须流化起来?如果必须要流化起来的话,那这个氮气的用量也太大了吧。如果不流化起来,不知道这个合成炉的温度能否各处升温均匀?
                               3 刚进入多晶硅行业,没有经验。不知道会不会出现温度升不到我所需要的300多摄氏度?如果要是真升不上去,那又该怎么办呢?
   望有这方面经验的坛友各抒己见
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发表于 2009-9-16 22:33:08 | 显示全部楼层
经验来源于实践,你这个情况好像是阳光的吧?
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发表于 2009-9-17 09:00:55 | 显示全部楼层
这个确实要经验了,氮气加热能不能达到400度我也没遇见,还向请教各位朋友了。
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