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请教:硅棒发黑跟什么有关系

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发表于 2009-9-15 18:54:02 | 显示全部楼层 |阅读模式
出炉发现硅棒表面发黑,请教高手这跟什么有关系?
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发表于 2009-9-15 20:39:20 | 显示全部楼层
停炉时间久了,生成了无定形硅
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发表于 2009-9-15 21:28:46 | 显示全部楼层
2# 9769782 温度低了
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发表于 2009-9-15 22:09:24 | 显示全部楼层
硅棒发黑,应该是温度没有提到位,偏低了
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 楼主| 发表于 2009-9-16 18:20:26 | 显示全部楼层
温度低了?硅棒表面也不是全部发黑啊
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发表于 2009-9-17 14:03:15 | 显示全部楼层
可能是系统含碳量偏高的缘故
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发表于 2009-9-21 10:18:59 | 显示全部楼层
1# wangkun1008
我这出现的不仅是外表发黑,而且内部也出现的发黑的迹象。
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发表于 2009-9-21 16:00:40 | 显示全部楼层
氢气中含氮量是否超标?
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发表于 2009-9-22 22:28:43 | 显示全部楼层
反之温度低结晶细小,表面呈暗灰色。当温度低于900℃以下,会生成疏松的暗褐色无定形硅。
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发表于 2009-9-23 08:57:33 | 显示全部楼层
1、降温时没有停料
2、温度过高会发生逆腐蚀
3、停炉时过早通入氮气
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