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硅烷法?

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发表于 2009-11-9 14:47:38 | 显示全部楼层 |阅读模式
国内听说有用硅烷法做多晶硅的,请问是怎么一回事?国内那家多晶硅厂家用此法,一般好像都用西门子改良法
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发表于 2009-11-9 22:02:53 | 显示全部楼层
这种方法目前还在实验室做的啊 ,不过国内已经开始工业化实验了啊 ,估计成熟工艺还得等3,4年吧。
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发表于 2009-11-10 11:02:26 | 显示全部楼层
中宁那个不是就是用的硅烷法的吗?
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发表于 2009-11-10 18:57:19 | 显示全部楼层
中宁?国外的工艺
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