HCL浓度和水分对SiHCl3合成有什么影响

HCL的浓度低了和水分高了对合成反应生成三氯氢硅有啥影响?

氯化氢浓度过低，造成反应出的三氯氢硅纯度低，这个是不用怀疑的，水分过高，容易造成系统堵塞，这个一直是个大问题，没有得到解决。且造成收率下降，设备喷版坏的速度很快。

会影响硅粉的转化率，同时会造成后续冷凝系统的堵塞，还会损坏设备

HCL浓度过高，会稀释三氯氢硅的浓度，降低三氯氢硅与硅棒的碰撞几率，降低了硅的沉积速度，减少实收率，而水分过多，会使三氯氢硅水解，水解产生的酸会腐蚀设备，水解产生的硅胶会堵塞设备管道，影响生产。