三氯氢硅合成工艺

三氯氢硅合成系统
原料硅粉用硅粉吊车提升至加料料斗的顶部，并将硅粉倒入硅粉干燥罐内。硅粉干燥罐的装料为每8小时一次，每次约1800kg，装好后，通过硅粉干燥罐外部的电加热器加热至200℃左右进行干燥约2～3小时，干燥后备用。
硅粉每4小时一次自动由硅粉干燥罐放入安装于下方的硅粉加料罐，再放入下方的硅粉缓冲罐。用安装于硅粉缓冲罐底部的旋转阀，将硅粉以一定的流量供入到三氯氢硅反应器中。加料自动过程如下：
当硅粉缓冲罐内的硅粉贮存量大约剩2小时用量时，给出一个信号，自动启动一个加料周期。首先，打开硅粉加料罐进口阀门，当硅粉加料到量后，关闭进口阀门。接下来就该置换，硅粉加料罐的氯化氢压力平衡阀关闭，放空阀开启。一个加料周期结束，硅粉加料罐等待下一个加料过程。
表压0.5Mpa的氯化氢同时被送入硅粉加料罐和硅粉缓冲罐,以平衡硅粉装料设备和合成系统的压力。
同时，氯化氢通过底部的分布器连续进入三氯氢硅反应器和硅粉发生反应，生成三氯氢硅，同时生成四氯化
[color=]硅、二氯二氢硅、金属氯化物、聚氯硅烷等副产物。
反应产物以汽气混合气的形式出合成炉顶，去除尘系统。
反应器下部区域压力为0.35～0.45Mpa，温度为290～330℃。
在反应过程中生成大量的热，由反应炉夹套内的冷却热水移出。
每台合成炉各有一套冷却系统。该系统是一个封闭的回路：夹套水循环泵将热水送入三氯氢硅反应器
夹套，移去反应热。出夹套的水返回到夹套水罐,并从这里由夹套水循环泵打入夹套冷却器壳程用循环水冷却，重新送入三氯氢硅反应器夹套。
三氯氢硅反应器最初的加料，是将硅粉直接从硅粉干燥罐送入三氯氢硅反应器的喷板上。当三氯氢硅反应器启动时，从三氯氢硅反应器底部供入热氮气流，对硅粉加热。当用氮气对三氯氢硅反应器进行加热时，三氯氢硅反应器的废气（氮和硅尘）被送往
[color=]硅粉干燥罐所配硅尘捕集器净化后放空。当
三氯氢硅反应器的温度达到350
[color=]～450℃时，停止输送氮气，并开始在
三氯氢硅反应器的下部输送经预热的氯化氢。在从输氮变为输氯化氢以及三氯氢硅反应器进入规定状态期间，废气通过除尘系统进入三氯氢硅合成工序的废气处理系统。
当三氯氢硅反应器停下维修或更换硅时，用温度为
[color=]300
[color=]℃的热氮气，在4小时内将其吹入
三氯氢硅合成工序的废气处理系统。然后吹入冷氮气以将反应器温度降至
5
[color=]0
[color=]℃。
[color=]冷却后的硅粉从
三氯氢硅反应器底卸出，用运输罐运至库房作为副产品外售。
汽气混合气除尘系统
汽气混合气除尘系统由三级旋风除尘器和袋滤器组成，每条生产线由两组旋风除尘器和袋滤器组成，切换运行。其中旋风除尘器约4小时切换一次，袋滤器则由压差控制自动切换。
出三氯氢硅反应器的夹带有硅粉的汽气混合气依次进入一级旋风除尘器二级旋风除尘器、三级旋风除尘器，气体中大部分硅粉被分离下来。少量硅粉由袋滤器）捕集。所得旋风除尘器收集的硅粉在压力平衡后，通过重力进入三氯氢硅反应器循环使用。袋滤器所得硅粉颗粒较细，且不易回收循环使用，故用氮气吹至废气系统处理。
汽气混合气洗涤系统从除尘系统汽气混合气进入洗涤塔底部，与塔顶冷凝回流的三氯氢硅混合液逆流接触，除去金属氯化物和高氯硅烷以及少量的硅尘。塔顶汽气混合气进入CDI系统冷凝分离。塔底高沸物送氯硅烷残液系统处理。

谢谢楼主，一直想了解一下这个工艺。

学习学习，受教了。

我想问一下，怎么改善反应速率呀？用加催化剂吗

学习中，楼主的应当就是湿法除尘系统吧。

4# 荆-棘-鸟
是啊！
成达得

似乎成达的不用袋式过滤器,,,应该不是湿法回收。。。。

怎么好像用的都是成达的哦