停炉问题

正常停炉后  发现底盘上有一层暗红色粉末物质    请教哈  这是二氧化硅吗？但疑问：1.二氧化硅是白色物质，这里怎么会变色？2.二氧化硅一般是水解产物，正常生产部可能有水分，是炉子内部出现问题漏水吗？请高手解答

首先很高兴认识你，我们是同班同学哦！

还原炉内是不可能出现那么多水的，如果漏成那个样子了，炉子早就over了，炉子启动的时候你们也是按规定检测水的露点的吧，所以漏水排出。
我想了一下，有可能是三氯氢硅液体，原因是进料的时候温度较低，不能使TCS完全汽化，导致TCS进入炉体底盘，即你所看到的那种东东。

底盘上的粉末可以有很多种颜色，也包括红色，那主要是氮化的结果，氮化程度不同，颜色不同