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还原工序的物料损耗

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发表于 2009-6-17 11:31:39 | 显示全部楼层 |阅读模式
在还原工序,每生产1kg的多晶硅将消耗大约多少k
g
的三氯氢硅和氢气,产生多少kg的四氯化硅、SiH2Cl2等副产物及HCl的量,国外的情况又怎么样?
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发表于 2009-6-17 22:06:16 | 显示全部楼层
其实这些不用去计算得非常精确,三氯氢硅和氢气的一次转化率是比较低的,主要回收做好了,这都不要紧,要看棒子的质量和产量
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发表于 2009-11-27 14:58:02 | 显示全部楼层
消耗多少氢气和TCS这个问题一般不去讨论它,像楼上说的只要看硅棒质量就可以了,通常情况下还原炉内的转化率在18%左右,我们用老外的还原炉,老外的能达到23%,他们不会把最好的给我们的,留一手嘛。一般生产1kg的多晶硅会生成10~15kg的四氯化硅,也有达到20kg的,情况各有不同。至于副产物二氯二硅烷和氯化氢,到CDI那边去了,我们不管它生成多少。
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发表于 2009-11-27 16:44:30 | 显示全部楼层
转化率18%??转化率还是收率?
收率一般都是10%以下,瓦克全球最高也才16%
至于TCS里多少比例变成了STC和DCS,那就不一定了
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