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大化工论坛»大化工论坛 › 专业技术分类 › 多晶硅新能源 › 六氯化二硅用途?
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六氯化二硅用途?

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发表于 2009-11-26 18:31:56 | 显示全部楼层 |阅读模式
有谁知道六氯化二硅的用途?
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发表于 2009-11-27 00:10:18 | 显示全部楼层
之前看过一个俄罗斯人写的文献里提到过这东西的用途，忘记了....现在找文献也不好找了....东西太多没工夫看了
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发表于 2009-12-1 11:23:45 | 显示全部楼层
含氟非晶硅膜，非晶硅的原料气
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