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还原炉混合气的计算

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发表于 2009-10-31 15:05:36 | 显示全部楼层 |阅读模式
各位大侠:
     请问在不同温度、压力下如何计算不同时间还原炉需要进入多大的混合气量?
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发表于 2009-10-31 17:52:35 | 显示全部楼层
这个好像是各个企业的商业秘密吧!
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发表于 2009-12-1 15:04:05 | 显示全部楼层
多晶硅生长初期的配比是3~3.5:1,随着时间增长硅棒越来越粗,配比也不一样,都在摸索之中,我们都是爬山的人啊!一起努力吧。
压力基本上是稳定的,5kg,波动不会太大。看你们是高压还是低压了。
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