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多晶硅中控指标和产品质量的关系

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发表于 2009-12-20 15:04:45 | 显示全部楼层 |阅读模式
各位,影响产品质量的因素有哪些?
精馏后的三氯氢硅要求指标是多少?我们单位要求b小于0.3ppb,Fe小于10ppb,是否达到这个指标就能长出合格的多晶硅?
另外,对氢气、氮气的要求指标是多少?
还原车间的装炉、腐蚀等对质量的影响有多大?
请诸位解疑释惑。不吝赐教!
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发表于 2009-12-20 23:21:12 | 显示全部楼层
装置不同,工艺也总有差异。工艺指标这个DD,就算给你,也只能参考。更何况这个DD是要保密的。
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发表于 2009-12-23 08:10:05 | 显示全部楼层
主要是控制P和B的含量
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