多晶硅的生产工艺

发表于 2009-12-29 22:21:55

求多晶硅的生产工艺

发表于 2009-12-30 08:56:13

问题太大了，太模糊了，
还是请高人回答吧~
我想你自己也不知道要什么吧？
只是想了解一下吗？

发表于 2009-12-30 09:31:54

三氯氢硅和氢气在还原炉一定的温度和压力下于硅芯上还原成多晶硅

发表于 2009-12-30 09:37:05

硅烷分解制备多晶硅，质量比较好，不过危险性比三氯氢硅大点

发表于 2009-12-31 15:16:52

去看看吧！应该对你有帮助！
https://bbs.hcbbs.com/thread-302944-1-2.html
https://bbs.hcbbs.com/thread-598589-1-2.html

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