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请问出炉中出现的异常现象属于哪些原因导致?

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发表于 2010-1-9 21:22:13 | 显示全部楼层 |阅读模式
1、出炉的朋友的说近期的多晶硅出来时出现炉盘上有黄色颗粒物,不知道是什么物质?担心的问题是在未出炉时是否就有这样的物质,会不会在多晶硅沉积的时候一起沉积在多晶硅中,产生异样杂质,影响单晶拉制中的清洗环节?这样的物质会是低温硅吗?低温硅在单晶生产工艺中的破碎、清洗、溶解中会是异样的不溶物质吗?
2、在拉制硅芯中出现硅芯中有空洞,空洞中有黄色的物质,这样的物质是什么?是在氢气为保护气中拉制的。
3、出炉的时候还有中现象是炉的底盘上出现黑灰色的灰尘,累积的很多,杂质元素增加,请问这个是 什么原因导致?什么物质?
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 楼主| 发表于 2010-1-10 13:32:49 | 显示全部楼层
是问题不清楚还是因为周末,都没人回答这个?
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