三氯氢硅提纯工艺简述

本帖最后由 fuwasi 于 2012-3-6 10:02 编辑
三氯氢硅提纯工艺特点
相对于传统西门子法三氯氢硅提纯工艺采用常压操作，改良西门子法三氯氢硅提纯工艺采用加压操作，经过B、P等分离效果的比较，分离BCl3用加压塔比常压塔有明显的优势，在加压条件下，BCl3等低沸点氯化物在每块塔板上富集系数及富集率比常压条件下高，BCl3在塔顶几乎全部除净。分离PCl3则加压塔与常压塔的效率无明显差异。因此，除精馏2#塔采用常压塔外，其余均采用加压塔。
三氯氢硅提纯工艺原理
三氯氢硅提纯操作是利用原料中各组分挥发度的差异而使之分离的一种操作。通过提纯塔把三氯氢硅、四氯化硅、及其它杂质氯化物的加热至沸腾，挥发度高的组分，即低沸点的组分（例如三氯氢硅），在气相中的浓度比液相中高，同理，将混合液的蒸汽冷凝，冷凝液中难挥发的组分，即高沸点组分（例如四氯化硅），在液相中的浓度比液相中高；经过多次部分汽化或部分冷凝，最终在气相中得到较纯的易挥发组分，即沸点低的组分（例如三氯氢硅），在液相中得到较纯的难挥发组分，即高沸点组分（例如四氯化硅）。
挥发度通常是用以表示某种纯态物质在某一温度下蒸汽压的大小。当组分互溶时，各组分的挥发度用它们蒸汽压中的分压和在蒸汽中成平衡的液相中的摩尔分数之比来表示。
三氯氢硅提纯工艺描述
合成粗馏：三氯氢硅合成料、精馏高低沸物料经过合成粗馏1#塔、合成粗馏2#塔两塔连续提纯，控制一定的温度、压力、回流比，合成粗馏1#塔塔顶出低沸物，送往低沸物贮罐，塔釜出中间产品（三氯氢硅、四氯化硅、部分高沸点杂质）进入合成粗馏2#塔，合成粗馏2#塔塔顶出三氯氢硅粗馏产品，送往精馏进一步提纯，塔釜出高沸物，送往氢化工序。
氢化粗馏：氢化料经过氢化粗馏1#塔、氢化粗馏2#塔两塔连续提纯，控制一定的温度、压力、回流比，氢化粗馏1#塔塔顶出低沸物，送往低沸物贮罐，塔釜出中间产品（三氯氢硅、四氯化硅、部分高沸点杂质）进入氢化粗馏2#塔，氢化粗馏2#塔塔顶出三氯氢硅粗馏产品，送往精馏进一步提纯，塔釜出高沸物，送往氢化工序。
精馏：合成粗馏产品、氢化粗馏产品经过精馏1#塔、精馏2#塔两塔连续提纯，控制一定的温度、压力、回流比，精馏1#塔塔顶出低沸物，送往合成粗馏，塔釜出中间产品（三氯氢硅、四氯化硅等）进入精馏2#塔，精馏2#塔塔顶出精馏产品，送往还原工序，塔釜出高沸物，送往合成粗馏。
干法精馏：干法料经过干法精馏1#塔、干法精馏2#塔两塔连续提纯，控制一定的温度、压力、回流比，干法精馏1#塔塔顶出低沸物，送往低沸物贮罐，塔釜出中间产品（三氯氢硅、四氯化硅等）进入干法精馏2#塔，干法精馏2#塔塔顶出干法精馏产品，送往还原工序，塔釜出高沸物，送往氢化工序。

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